等離子清洗機

等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。

等離子電源頻率一般有三種：40kHz及以下，13.56MHz，2.45GHz

40kHz及以下為中頻電源，中頻等離子體發生的反應為物理反應。中頻等離子體（物理）清洗工藝是在反應腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗；氬氣本身是惰性氣體，等離子體的氬氣不和表面發生反應，而是通過離子轟擊使表面清潔。以物理反應為主的等離子體清洗，也叫做濺射腐蝕（SPE）或離子銑（IM），其優點在于本身不發生化學反應，清潔表面不會留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學純凈性。中頻等離子清洗機加入適當的反應氣體，可以有效去除膠質或有機物殘渣、做刻蝕等等。

13.56MHz為射頻電源，射頻等離子體發生的反應既有物理反應又有化學反應。射頻等離子體清洗是表面反應機制中物理反應和化學反應都起重要作用，即反應離子腐蝕或反應離子束腐蝕，兩種清洗可以互相促進，離子轟擊使被清洗表面產生損傷削弱其化學鍵或者形成原子態，容易吸收反應劑，離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產生反應。所以很適合用來處理一些嬌嫩的材料。

為進一步滿足客戶的實驗工藝需求，雷博科儀特推出型號為PT500/PT1000/PT3000實驗型等離子清洗機。

PT500等離子清洗機

PT1000等離子清洗機

PT3000等離子清洗機

雷博科儀等離子清洗機具有如下特點：

1. 體積小巧處理4寸及以下樣品、一鍵式操作，適用于科研院所等各種實驗環境

2. 高效清洗，快速達成需要的表面處理工藝；

3. 13.56Mhz低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料

4. 可用于表面改性、去膠工藝、鍵合工藝等

PT系列產品自推出以來，得到了諸多科研院所客戶朋友的認可，經過一段時間的老師使用反饋，我們收集了部分課題組反饋的使用報告。

新加坡國立大學課題組使用情況：

在疊層電池的制備過程中，使用“雷博科儀”的plasma清洗機（PT500型號）對器件的功能層進行表面改性處理，具體操作為：將樣品放置于plasma清洗機的腔室中，關好腔室門，設置好相關參數，然后點擊運行。

對于單節電池，使用plasma清洗機對ITO玻璃表面進行處理，可顯著改善ITO表面的親水性；

功率和氣流量可調，該等離子清洗機清洗效果能很好滿足需求使用；

對于單節電池，plasma處理的ITO玻璃可以獲得和UV-ozone相當的電池效率；

對于疊層電池中，在使用plasma清洗機處理功能層后，器件效率提升0.6%。

紫外臭氧清洗機

紫外光表面清洗技術在國際上是隨著光電子信息產業的發展而提出來的。

2023年3月29日，四川大學趙德威教授和陳聰特聘副研究員、廈門大學唐衛華教授、瑞士聯邦材料科學與技術研究所付帆博士等人在《Nature》發表題為“All-perovskite tandem 1 cm2 cells with improved interface quality”的研究論文，該研究表明全鈣鈦礦串聯的1平方厘米的電池，其界面質量得到改善。

四川大學趙德威教授及廈門大學唐衛華教授目前均在使用江蘇雷博科學儀器有限公司生產的UC100-SE紫外臭氧清洗機。

UC100-SE紫外臭氧清洗機

UC200-SE紫外臭氧清洗機